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紧凑型等离子清洗机

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  • 公司名称郑州成越科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号CY-CP
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/3/7 11:30:28
  • 访问次数221
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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州开发区863软件园内,是一家专业从事材料制备设备和材料制备原料代理的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向,立志做*材料制备技术及设备和原料的提供商。 郑州成越科学仪器有限公司的“研发团队”凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。 郑州成越科学仪器有限公司 近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界。 如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。
简单介绍: 紧凑型等离子清洗机带有数字真空传感器和显示器,以及铰链门。适用于各种气体对2英寸以下晶圆片的纳米级有机污染物进行清洗和去除。在高射频功率下,有机去除率zui高约为10nm /min。紧凑型等离子清洗机是一种较好的单晶基材涂装前预清洁的工具,可达到较好的涂膜质量。
紧凑型等离子清洗机 产品信息
详情介绍:

紧凑型等离子清洗机主要特点:

1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物,至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具,可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门,便于样品装载。
4.3"直径石英腔室,适用于清洁2”晶圆,可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。

紧凑型等离子清洗机技术参数:

射频功率

射频功率(线圈上施加的高压和高频电流)可在三个级别调节:

低设置

680V 

10 mA 

7 W

中等设置

700V 

15 mA 

11 W

高设置

720V 

25 mA 

18 W


等离子室

•3"直径×6.5"长的石英室

•700 mL容量

•高纯度石英室比玻璃具有更长的使用寿命

真空计和显示器

•Stinger压力表安装在铰链门上。

•1/8”NPT针阀,可定性控制气体流量和腔室压力。

•1/8”NPT三通阀,可快速切换出气体,隔离腔室和排气。

真空泵

包括一个双级旋片式真空泵

输入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,单相

工作气体

•可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁,例如N2,Ar,空气和混合气体取决于将要处理的材料类型。

•可以使用<5%H2混合惰性气体

•等离子清洁器不得使用。

整体尺寸


净重

40磅

保证

一年有限保修,终身支持(耐热玻璃室无保修)

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