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KS-S300 12寸 星型涂胶显影机

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  • 公司名称沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/4/12 9:42:17
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芯源公司总部位于沈阳市浑南区,并在上海临港设有全资子公司。公司总部占地4万平米,拥有专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高,形成自主知识产权体系,已拥有237项,其中发明167项。沈阳芯源公司作为国内的半导体装备制造企业,所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品,已形成完整的技术体系和丰富的产品系列,可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求,广泛应用于半导体生产、封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm*封装厚胶工艺制程。芯源公司连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目,连续两年被评为中国半导体企业。
KS-S300涂胶显影机可用于封装、MEMS、OLED等领域的涂胶显影制程,每小时可加工100片晶片,同时产品可兼容不同材质的晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物等。产品可应用于逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、OLED制造等领域。曾获得辽宁省优秀新产品二等奖,辽宁省科学技术奖二等奖。产品通过SEMI S2认证。
KS-S300 12寸 星型涂胶显影机 产品信息
产品优势:

1.适合超薄晶圆处理,超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺
2.涂胶单元特殊设计,避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖”现象
3.机台为全封闭模块化结构,工艺单元灵活选配
4.占地面积小,产能高
5.工艺上可实现5mm以下晶圆翘曲片的传送加工,热板采用渐进式烘焙
6.可满足工厂自动化需求,无人值守

应用领域:

● 封装
● MEMS
● OLED

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