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净化显影机CPN-PSD-100/OP型

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  • 公司名称中普尼实业集团(海南)有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/4/15 9:30:09
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中普尼(CHINAPIONEER,简称 CPN 公司)是一家一直专注于微电子、微细加工及半导体工艺等领域的技术研发、生产制造及营销服务为一体的集团企业。公司主要产品有匀胶机(Spin Coater)、烘胶机(Hot Plate)、显影机(Developer)、光刻机(曝光机-LithographySystem )、紫外线固化机(UV)、磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(PECVD)、干法刻蚀设备(RIE,ICP,IBE)、非标真空设备等。其广泛应用于微电子、光电子、通讯、微机械、新能源等领域,适用于大专院校、科研机构和相关行业生产企业进行教学实验、科学研究和产品开发与批量生产,为光电半导体化工实验室解决方案供应商。 作为实验室与半导体市场领域的,我们CPN 公司的产品一直以“外贸形式”出现在国际市场上,现近年来随着中国国家政府对内外改革开放地不断深入,加之国际形势的变化与中国国家政策的调整,极大地促使了中国大陆区域电子、半导体等行业的发展,其市场领域的飞速发展与日趋成熟已成为发展最迅猛的区域市场之一.因此,CPN 公司早已逐渐在中国大陆区域服务,且服务领域已迅速遍布于中国大陆区域二十多个省份,与此同时亦继续维持拓展 CPN 公司在美洲、欧洲等地区的产品营销与服务,帮助尊贵的客户和优质的合作伙伴取得成功. 秉承“技术进步为社会发展做贡献”的宗旨,CPN 公司广泛的与国外的科研机构进行技术交流,始终遵循“以人为本”的设计理念完善产品设计,致力于引进吸收欧洲技术,使 CPN 公司的产品制造工艺处于行业的水平.CPN 公司一直沿用国际 ISO9001 质量管理体系及 ISO14000 国际环境管理体系,高标准、严要求地对产品质量进行有效监控和科学管理,其产品已通过CE 认证。至今为止,CPN 公司已在北京、上海、江苏、成都、深圳等地建立了牢固的战略合作伙伴关系 ,以满足公司业务不断拓展与客户需求,为范围内的尊贵客户提供的技术产品与优质服务。 我们的成功源于----我们不仅仅帮助我们尊贵的客户提供专业的机械仪器设备,更是帮助客户提供专业的解决问题的技术手段与方案建议;呈现的不仅仅只是优质的产品与的技术,更多的是与朋友们分享知识与友谊,成功与喜悦!在中国实验室技术突飞猛进的今天,CPN 公司愿和您一起携手共创世界的科研实验场所,为您的实验室保驾护航!为此,我们矢志努力并将永远保持我们的地位!
CPN-PSD-100/OP型净化显影机亦是CPN-PS系列产品的基础品种之一,是半导体器件制造过程中的专用工艺设备,采用*的单片微型机程序自动控制,实现喷雾显影工艺,电路清晰完整,由于控制系统稳定,在进行工艺中不飞片,显影速度快(30S)和节省显影液,主要用于科研和生产单位大规模集成电路和其他半导体器件的光刻工艺中作显影之用
净化显影机CPN-PSD-100/OP型 产品信息

CPN-PSD-100/OP型净化显影机CPN-PS系列产品的基础品种之一,是半导体器件制造过程中的专用工艺设备,采用*的单片微型机程序自动控制,实现喷雾显影工艺,电路清晰完整,由于控制系统稳定,在进行工艺中不飞片,显影速度快(30S)和节省显影液,主要用于科研和生产单位大规模集成电路和其他半导体器件的光刻工艺中作显影之用。

一、本机显影工艺采用了*的喷雾方式,可根据工艺要求喷雾状态电机的转数程序时间的工艺参数都可在很宽的数值范围内调整。其程序为延时吸片-显影-漂洗-干燥-延时复位。

二、采用喷雾显影工艺后电路图形清晰完整,特别是对较细线条电路采用此工艺可得到很高的效果。

三、本设备除能显影工艺外,亦可进行涂胶工艺.

 


主要技术指标                                             

1、显影工位:1个工位                                         

2、程序时间:显影 1-99999

3、漂洗 1-99999秒                                       

4、干燥 1-99999                                                    

5、旋转器转数:500-8000/分(连续可调)                                         

6、硅片直径:Φ1—Φ100mm                                                                  

7、净化效果:100级(美国联邦标准)                                                 

8、操作区风速:0.3-0.5/秒  

9、气流状态:垂直层流

10、外形尺寸:1620mm(高)*650(宽)*800

11、整机包装重量:150KG

12、氮气源:N2管道或钢瓶(进气压力0.2-0.3MP/cm2

 


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