洁净型气体过滤器 SFA
 | 滤盒型／滤片型 ・可更换滤芯的滤盒型。 |
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| 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|
| SFA100・200・300 | 1.0MPa （真空：1.3×10－6kPa） | 0.01μm |
洁净型气体过滤器SFA
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| SFA100・200・300 | |
洁净型气体过滤器 SFB
 | 滤盒型／滤片型 ・可更换滤芯的滤盒型。 |
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| 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|
| SFB100・200 | 1.0MPa （真空：1.3×10－6kPa） | 0.01μm |
洁净型气体过滤器SFB
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| SFB100・200 | |
洁净型气体过滤器 SFB
 | 一次性型／直线型 ・半导体工程用的小型一次性型。 |
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| 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|
| SFB300 | Max.1.0MPa （真空：1.3×10－6kPa） | 0.01μm |
洁净型气体过滤器SFB
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| SFB300 | |
洁净型气体过滤器 SFC
 | 一次性型／直线型 ・半导体工程用的小型一次性型。 |
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| 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|
| SFC100 | 1.0MPa （真空：1.3×10－6kPa） | 0.01μm |
洁净型气体过滤器SFC
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| SFC100 | |
