掠入射平场光栅光谱仪251MX
251MX极紫外掠入射平场光栅光谱仪外形及光路排布
251MX采用在软X射线诊断领域广受欢迎的掠入射平场光栅架构。其入射角为87°，确保极紫外波段的反射率；采用变栅距（Variable Line-Space, VLS）光栅的栅线非均匀分布，将罗兰圆像场矫正为平场，适合直接探测CCD相机等平面探测器采集。多样化的光栅选择使得251MX可满足1~200nm的摄谱需求。光谱仪可容纳两块光栅，推拉式切换；支持探测器平动以扩展摄谱范围。251MX内置零级挡板，可在保持真空的前提下调节挡板位置，以阻挡零级光。
产品特点
l 1nm ~ 200nm；
l VLS光栅，整个像面保持高分辨率；
l 无需扫描，稳定、便利；
l 1E-6高真空；超高真空可选；
典型应用
l 高次谐波
l 极紫外光源研发
l 激光等离子体、高温等离子体、Z-Pinch、磁约束等离子体
l X射线激光，自由电子激光
l 极紫外光学系统测试
主要参数
光学设计 | 掠入射像差校正平场设计 |
入射角 | 87° |
焦面 | 25mm |
探测器 | 可平动、转动 |
波长范围 | 1nm ~ 200nm，取决于光栅 |
光栅尺寸 | 50×30mm |
光栅支架 | 双位，真空下可切换 |
零级挡板 | 标配，真空下可调 |
狭缝 | 0.01 ~ 3mm连续可调；高度可置 |
真空 | 标准：1E-6 Torr；可选UHV |
可选光栅
刻划密度 (g/mm) | 120 | 300 | 1200 | 2400 |
偏转角（°） | 170 | 170 | 170 | 174.4 |
分辨率（nm） | ~0.3 | ~0.12 | ~0.028 | ~0.01 |
平场范围（nm） | 50~200 | 20~80 | 5~20 | 1~5 |
测试示例
镁K线谱（左）与氧K线谱（右，三阶）
