开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种的表面分析技术。主要型号：KP020 (单点开尔文探针)，SKP5050(扫描开尔文探针)。
扫描开尔文探针系统 (SKP)：
SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：
□ 2毫米探针，50微米探针(选配)；
□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；
□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；
□ 表面势和样品形貌3维地图；
□ 探针扫描或样品扫描选配；
□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；
□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；
□ 备用的针尖放大器；
仪器特色：
□ 一台商用的意义上的开尔文探针系统；
□ 分辨率的功函数和表面势，稳定性和数据重现性；
□ 非零技术(Off-null, ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based, LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；
□ 高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；
□ 该领域内，拥有信噪比；
□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；
□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；
□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；
| ON | 非零探测 Off Null detection |
| HR | 高度调节模式 Height Regulation mode |
| SM | 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
| UC | 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
| DC | 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects |
| PP | 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
| SA | 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
| WA | 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
| DC | 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
| QT | 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
| DE | 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
| OC | 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
| FC | 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
| RS | 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample |
| 额外选配项 | |
| SPV | 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
| RH | 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber |
| AC | 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
| EDS | 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope |
| OPT | 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
| ST | 针尖置换 Replacement Tips |
| GCT | 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips |
| XYZ | 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
应用领域：
吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；
参考用户：
吉林大学、哈工大、大连理工大学、湖南大学、浙江大学、复旦大学、华中科技大学、华南理工大学、合肥工大、中科院纳米中心、中科院理化所、中科院高能所等...
