多头单台面，易于双机连线
雷射器模组 20W
自动化可选机械手或双机连线
适用于內外层制程
量产解析力：50/50um
一键料号生成，一键曝光
能量自动跟踪(选配)
分区对位和自动涨缩
自动系统标定
节约菲林成本
支持拼版
支持有孔对位、无孔对位(背面对位)
节约人工和制程时间
支持Panel级的资讯追溯
支持274X, 274D，DXF 和 ODB++(选配)
高产能，高精度，高良率
| 生产规格 Specification | 1 | 电路板尺寸 Panel Size | 200mm×200mm-630mm×810mm | ||||
| 2 | 电路板厚度 Thickness Panel | 0.03mm-5.00mm | |||||
| 工作台面 Workbench | 3 | 台面数量 Workbench | 单台面 Single Workbench | ||||
| 4 | 对位方式 Alignment Mode | 双CCD对位 Double CCDs Alignment | |||||
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光学系统 Optical System | 5 | 光源种类 Light Type | 光纤雷射器 (LD) Laser Diodes 405±5nm | ||||
| 6 | 冷却方式 Cooling Mode | 水冷 Water Cooling | |||||
| 7 | 光源规格 Light Power | 80W | 120W | ||||
| 8 | 光机数 O.S. Number | 4 | 6 | ||||
| 9 | 光斑均勻性 Illumination Uniformity | ＞95% | |||||
| 10 | 感光焦深 DOF | ±250um | |||||
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生产能力Throughput | 11 |
产能Throughput | 光功率 Light Power | 80W | 120W | ||
| 12 | 过板量(Sides) 24"*21" | 20mj/cm2 | 219/h | 265/h | |||
| 13 | 90mj/cm2 | 140/h | 185/h | ||||
| 14 | 120mj/cm2 | 119/h | 158/h | ||||
| 15 | 含3秒上下板时间 | ||||||
| 16 | 每面过板時間Timespan/Side 24"*21" | 20mj/cm2 | 13.3s | 10.5s | |||
| 17 | 90mj/cm2 | 22.1s | 16.3s | ||||
| 18 | 120mj/cm2 | 27.1s | 19.6s | ||||
| 19 | 不包含上下板时间 | ||||||
| 20 | 曝光能量 Resist Energy | ≤1000mj/cm2 | |||||
| 21 | 量产解析力 Mass Resolution | 50um/50um | |||||
| 22 | 感光材料类型 Resist Type | 传统干膜、高感干膜 DryTraditional Dry Film. High Sensitive Dry Film | |||||
| 23 | 无孔对位精度 No-hole Alignment Precision | 24um | |||||
| 24 | 对位精度 Alignment Precision | ±12um | |||||
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控制系統Control System | 25 | 作业系统 Operation System | Win10 | ||||
| 26 | 控制方式 Control System | 工业级电脑 IPC(Industrial PC) | |||||
| 27 | 软体操作语言 Culture | 中文/英文 Chinese/English | |||||
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生产及环境需求Environment Requirement | 28 | 翻板方式 Flip Mode | 左右翻板 Flip Left to Right | ||||
| 29 | 涨缩管控 Scale Mode | 固定涨缩、自动涨缩、管控预警 Fixed, Automatic, JE/PE Control | |||||
| 30 | 档案格式 CAM Format | Gerber 274X/274D/TIFF/DXF/ODB++(Optional) | |||||
| 31 | 靠齐方式 Alignment Mode | 左下靠齐 Left-Bottom | |||||
| 32 | 室內照明 Clean Room | 黃光万级 / Clean Room10000 Level | |||||
| 33 | 环境温度 Temperature | 22±2℃ | |||||
| 34 | 环境湿度 Humidity | 50±10%RH | |||||
| 机台外型 Profile | 35 | 机台尺寸 Length*Width*Height | 2500mm×1562mm×1638mm | ||||
| 36 | 机台重量 Weight | 3500kg | |||||
| 37 | 外壳材质 Enclosure Material | 不锈钢外壳 Stainless Steel | |||||
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输入需求 Input Requirement | 38 | 电力需求 Electric Condition | AC380V±5%/50-60Hz/25A/三相四线 AC380V±5%/50-60Hz/25A/Three-phase four-wire | ||||
| 39 | 气源需求 Air Condition | 正 压 6kg/cm²/ 管 径 (φ) 6mm Pressure Positive 6kg/cm² / Pipe(φ) 6mm | |||||
