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ASML ARF曝光机,二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称青岛佳鼎分析仪器有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/16 8:18:27
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青岛佳鼎实验室,坐落于城之向阳地——城阳。自2011年成立之初,便誓将科技之光照耀四方。
十年的时间里,公司因扩展数度搬迁,最后选择接受博士创业园的吸纳并安家落户。与此名交相辉映的是我们30余人的研发团队,也是以博士后为主。这就为我们今后的发展奠定了坚实的基础,使我们在未来的发展中,有底气的大踏步前进。目前,佳鼎实验室已经形成了一站式服务,不仅有实验室分析仪器设备的研发和销售,更有实验室的整体交付。做到了初时毛坯,再见时严谨整洁,随时可以为人类健康贡献自己的力量。
产品服务于各行各业,从科研机构到环境、食品,从医药生物到电子电器。我们从不止步于国内,放眼,我们联合了包括美国赛默飞世尔、日本岛津、在内的多国实验室,并且积累了大量的科研资料,在分析设备的研发领域做了大量的深度工作。
佳鼎实验室坚信以质量为生命,以客户为中心的经营理念,为打造实验室建设规范化而不断奋斗。

PAS5500/750FDUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术,可以实现130nm的大规模生产
ASML ARF曝光机,二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C 产品信息

PAS5500/750F DUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术,可以实现130nm的大规模生产。它结合了改进的0.7NA 4倍还原镜头的成像能力与调平系统中的多点创新,以及空中II照明技术,包括类星体、多极照明和可选的多重曝光能力。该系统配备了TTL对齐和ATHENA,以提高后端工艺层的对齐精度,配备了一个小于25nm的长期单机覆盖。

步进扫描光刻机PAS 5500-750C进一步减少开销时间,并结合提高客户作业的生产率,提供了130片/h晶圆(200毫米)的生产吞吐量。应用2kHz20WKrF激光器可以获得的操作成本。

ASML ARF曝光机,二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C

特点与优势:

Variable, 0.7 NA Deep UV Projection Lens
Production resolution down to 130 nm.
Step and Scan
Large field size, better CD control and lower lens aberrations.
AERIAL II Illumination with QUASAR and Optional Multiple Exposure Capability
Provides the ultimate flexibility in illumination modes at maximum throughput.
PAS 5500 Step-and-Scan Body
Commonality with i-line and 193-nm Step-and-Scan tools for economic mix-and-match.
8-Spot Level Sensor
Improved focus and leveling under production conditions.
ATHENA Advanced Alignment
Increased alignment accuracy process latitude.
Includes 2kHz 20W KrF Laser Technology with VariableLaser Frequency Control
The perfect combination of high laser power for high throughput and efficient use of laser pulses for

the lowest possible laser Cost of Operation.

ASML ARF曝光机,二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C


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