真空阀门的概述及参数
概述
SP Speedivalves（带氟橡胶或丁腈橡胶隔膜）是密封的管线隔离阀，采用薄膜和阀座布置，可用在不平整、不清洁的系统中。这种阀配有位置指示器，仅适用于管线安装。
IBV 球阀具备实用的日常功能，此外还采用高规格设计，因此易于使用，经济划算。这些坚固的阀使用 316L 不锈钢制造，采用全通径设计，适合广泛的真空应用。
PVMK 阀是快速反应的杠杆操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封圈，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀采用铝或不锈钢制造，是一种价格低廉、安全可靠的隔离解决方案。
PVPK 阀是快速反应的气动操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封圈，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀带有直观和电子的阀状态指示功能，可以选择铝或不锈钢制造，是一种适合高循环负荷的低价阀。
PVEK 阀是紧凑的轻型电磁阀操作直角隔离阀，带有波纹管和 O 形密封环，可用于提供无油脂的真空环境。这种阀采用铝或不锈钢制造，是一种价格低廉、安全可靠的隔离解决方案。
BRV 阀是手动或气动执行的前级/粗抽阀。它是一个完整的 3 接口装置，集独立的前级/粗抽阀的功能于一身。具备多种控制和指示功能，是一种价格低廉、安全可靠、易于操作的阀。
SIPVP 阀是气动操作的软启动型阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
ISO 带法兰插板阀系列可采用多种材料和密封方式，提供的整体密封性和真空完整性，同时具有的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能。
CF 带法兰插板阀可采用多种材料和密封方式，提供的整体密封性和真空完整性，同时具有的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能，而且采用可加热式设计。
BGV 地下室插板阀经过针对性设计，采用简单、创新的楔形密封系统，消除了传统插板阀所使用的复杂机械装置。其优势包括在真空内不需要油、油脂和移动部件，因此降低了机械装置被制程中的粉尘污染的风险。
QSB 直角回转蝶阀是设计紧凑、反应迅速的高导电性隔离阀。采用不锈钢制造，带有 O 形密封圈，气动或手动执行。
进气阀系列共有三种设计，适合多种应用。从简单的螺纹塞设计到由电磁阀操作的阀，这些阀可安装在面板或管道上，是向真空系统进气的理想产品。 除了进气阀，Edwards 还提供可安装在面板或管道上的针阀，用于精细控制真空系统中的进气。
电控气动控制阀可用来控制气动执行的真空阀的运行。控制阀包括 3 接口和 5 接口两种型号，提供不同的电源电压和频率来适合您的应用。
参数
名称 | 类型 | 主体材料 | 阀座的泄漏值 | 通过阀体的泄漏值 | 重量 |
AV5A | 吸气阀 | HE30 铝 / 镀镍黄铜 | 10-7 mbar ls-1ls-1 | 10-1 mbar ls-1 | 85 g |
AV10K | 吸气阀 | HE30 铝 | 10-7 mbar ls-1 | 10-1 mbar ls-1 | 100 g |
BGV | 插板阀 | AISI 304 不锈钢 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 | 3.3-17.7kg | |
BRVPK | 粗抽阀 | HE 30TF 铝 | < 10-9 mbar ls-1 | 350-900g | |
CF | 插板阀 | AISI 304 不锈钢 | < 10- 9 mbar l s- 1 | 73 kg | |
IBV | 球阀 | AISI 316L 不锈钢 | 1 x 10-6 mbar ls-1 | 0.75-4.3kg | |
IPVA10FK | 吸气阀 | 铝 | 1 x 10-9 mbar ls-1 | 310g | |
IPVMK | 手动操作隔离阀 | HE30TF 等级的铝或 AISI304 等级的不锈钢 | < 10-9 mbar ls-1 | 180-3300g | |
ISO | 插板阀 | AISI 304 不锈钢 | < 10- 9 mbar l s- 1 | ||
LCPVEK | 电磁阀 | 铝、不锈钢 | < 1 x 10-6 mbar ls-1 | ||
LV10K | 针阀 | 铝 HE30 | 10-7 mbar ls-1 / 8 x 10-8 Torr ls -1 | 10-7 mbar ls-1 | 138 g |
PVEK | 电磁阀 | HE30TF 铝 | < 1 x 10-9 mbar ls- 1 | 800g | |
PVPK | 气动隔离阀 | HE30TF 铝 | < 1 x 10-9 mbar ls- 1 | 310-4000g | |
QSB | 蝶阀 | AISI 304 不锈钢 | < 10-9 mbar ls-1 | ||
SIPV | 软启动阀 | HE30TF 铝 | 10-9 mbar l s- 1 | ||
SP | 管线隔离阀 | 符合 BS1490 的铝合金 | 10-6 mbar ls-1 | 230-2300g |
