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日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210

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具体成交价以合同协议为准

公司名称深圳市环越精度科技有限公司
品牌
型号PDC200/PDC
所在地
厂商性质其他
更新时间2023/8/1 8:03:31
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公司介绍主营产品

　　环越精度-一站式仪器、设备、工具供应商　　深圳市环越精度科技有限公司位于中国***经济特区-广东省深圳市，是一家从事测试、测量产品销售、制造与维修的性企业。　　拥有*配套与维护的人力资源，是公司创立的根本，公道的价格、优质的服务是公司赖以发展的经营理念。　　自公司成立以来，与国内外众*品牌厂商建立了良好的合作关系，始终坚持“质量*,用户***”服务宗旨，诚挚期待与您的合作与交流，共谋发展,共创辉煌!

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日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210 产品信息

日本yamato大和等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510

研究开发用*适合等离子清洗机

主要特点：

RIE模式标配（DP切换为选购）
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

用途：

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

技术参数：

型号	PDC200	PDC210	PDC510
模式	RIE模式（DP选配）	DP模式	DP/RIE切换方式
电极构造	平行平板电极（固定）
高频输出功率	MAX300W	Max 500W
频率	13.56MHz
控制方式	自动联动，液晶触摸屏控制
反应室尺寸	400×250×150mm		500×300×200
电极尺寸	250×170mm		400×200mm
反应室材质	一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF₄）
反应气体	2系统（Ar/O₂）
填充气体	N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制	流量计	聚合控制器
真空泵	另行选配	油回旋真空泵（排气量345L/min）	油回旋真空泵（排气量500L/min）
气体导入口	反应气体2套，填充气体1套
外型尺寸	540×600×600mm	540×600×600mm	700×700×700mm
电源	单相AC100V 15A 50/60Hz	三相AC100V 15A 50/60Hz