功能特性：
● 灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
● 菜单驱动式工艺过程
● 绘图和自诊断功能
● 以太网通讯功能
● 节能模式
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷
规格参数
工作腔室材料： 铝
容积： 36.5 升
内部尺寸： 229 x 330 x 483 mm
可选电极
● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极
工艺气体
质量流量控制计： 最多至6路气体
工艺压力： 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间： 大约1分钟 (取决于真空泵)
放气： 可调
射频发生器： 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源： 220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体： 输入压力 1-2 bar
吹扫气体： 输入压力 1-2 bar
压缩空气： 输入压力 4-6 bar
尺寸： 宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量： 约157千克（不含泵）
可选项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 气相MFC
