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| TOP-6097P自动影像对位曝光机(内、外层适用） | ||||||
| Semi-Automatic Imaging Alignment Exposure Machine( For inner & outer layer ) | ||||||
| 机 器 技 术 规 格 | ||||||
| Machine Technical Specifications | ||||||
| 一 | 生产规格 specification | 1 | 电路板尺寸 panel size | min:305mm*305mm,max:622mm*724mm (12"*12"～24.5"*28.5" ) | ||
| 2 | 电路板厚度 thickness | 0.3mm～3.2mm(12mil～128mil含铜厚contains copper） | ||||
| 3 | 底片尺寸 a/w size | 660mm*762mm (26" ×30" ) | ||||
| 4 | 板厚公差 thickness tol. | ±75um | ||||
| 二 | 工作台面 countertops | 5 | 曝光工作台面 exposure countertops | 双框交替作业 double tray alternate | ||
| 6 | 曝光方式 exposure mode | |||||
| 7 | 台面结构 platform structure | 玻璃VS玻璃 glass vs glass | ||||
| 8 | 台面材质 platform material | 光学钢化玻璃 真空压力0～650kpa tempered glass, vacuum pressure-650kpa | ||||
| 三 | 光源系统 illuminant | 9 | 光源种类 light | UVLED平行光源 UVLED collimated light | ||
| 10 | 灯管类型 tube | UV-LED灯组 UV-LED tube | ||||
| 11 | 灯管数量 Qty | 1组 1group | ||||
| 12 | 灯管功率 power | 3KW | ||||
| 13 | 未透过玻璃照度 energy | ≥30mw/c㎡(LS125能量计) | ||||
| 14 | 照度分布均匀性 uniformity | ≥88% | ||||
| 15 | 平行半角 Parallel half angle | ＜2° | ||||
| 16 | 倾斜角 Tilt Angle | ＜3° | ||||
| 四 | 对位系统 alignment system | 17 | CCD数量 Qty of CCD | 4个 4pcs(4/3/2靶点切换选择) 4pcs, freedom to choose between the points 4/3/2 | ||
| 18 | CCD移动方式 CCD way | 自动移动 Automatic | ||||
| 19 | 对位影像检查 automatic image alignment | 自动移动基板对位，对位销钉孔2.5mm/3.175mm automatic alignment,Pin's dia.2.5mm/3.175mmm | ||||
| 20 | 底片固定方式 films fixed way | 真空吸附 vacuum adsorption | ||||
| 21 | 底片安装方式 films installation | 自动移动对准 automatic alignment | ||||
| 五 | 生产能力 output ablity | 22 | 生产产能(不含清洁时间) throughput(no including the cleaning time) | 2~3片/min,每日24小时约1800-2200片 2~3pcs/min，about 1800-2200pcs/24H | ||
| 23 | 对位机械精度 precision of alignment | ±12um | ||||
| 24 | 光阻剂类型 resist | 内层干膜/外层干膜 inner layer dry film/outer layer dry film | ||||
| 25 | 显影后线路解析能力 resolution | 50um/50um | ||||
| 六 | 控制系统 controlsystem | 26 | 操作系统 operating system | Linux窗口界面 Linux interface | ||
| 27 | 控制硬件 hardware | 全系统PC控制 all PC control system | ||||
| 28 | 操控界面 interface | 15" 液晶触控屏幕 15" touch screen | ||||
| 29 | 操作语言 language | 中文/英文 Chinese/English | ||||
| 30 | 温湿度自动控制系统 Automatic temperature and humidity intelligent complement system | 温湿度自动控制系统 Automatic temperature and humidity intelligent complement system | ||||
| 七 | 生产及环境需求 environmental requirements | 31 | 生产上下板料方式 operation mode | 人工取放 manual | ||
| 32 | 生产板料放置需求 board placement requirements | 套PIN作业Cover PIN method | ||||
| 33 | 环境洁净度 cleanlinese | Class10000 | ||||
| 34 | 环境温度 temperature | 20±3℃ | ||||
| 35 | 环境湿度 humidity | 55%±10%RH | ||||
| 八 | 机台外型 boundary dimention | 36 | 机台尺寸 size | 长(L)3485mm *宽(W)1560mm *高(H)2400mm | ||
| 37 | 辅助后箱尺寸 auxiliary box's size | (L)1360mm* (W)650mm*（H)1500mm | ||||
| 38 | 机台重量 weight | 约2200公斤 about 2200kg | ||||
| 39 | 外殻材质 material | 不绣钢 strainless steel | ||||
| 九 | 接口设备需求 Auxiliary equipment requirements | 40 | 电力需求 electrical | 15KVA/AC380V±5%/50HZ/25A 三相四线 (three-phase & four-wire) | ||
| 41 | 气压源需求 air source | 6.5kg/cm2 管径 pipe diameter∮12mm 流量 flux 150～180L/min | ||||
| 42 | 冰水需求 cooling water | 7-12℃ 管径 pipe diameter 1" 流量 flux 15L/min | ||||
| 43 | 排水 drainage speed | 约3L~5L/12H | ||||
| 因生产设计需求，规格按修改后双方确认为凖 | ||||||
| Due to production requirements, equipment specification according to the both sides' confirmation. | ||||||
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