产品详细
产品参数
主要技术指标: | 设备主件: | |
---|---|---|
CCD外接接口 | USB2.0 | 光电自准直仪(带CCD) |
分辨率 | 0.1μm(或1”) | 平行光管 |
回转精度 | 0.1um(气浮转台) | 高精度电动平移台机控制箱 |
测量精度 | 0.5um | 消色差物镜组 |
承座直径 | Φ3~Φ200mm | 高精度气浮转台; |
测量范围(mm) | 冷光源和光纤管 | |
随机物镜组 | F60/F100/F200/F300/X5 | 测试台基座; |
长x宽x高 | 60x40x120cm | |
净 重 | 50Kg | 电脑(及测量软件)等 |
主要技术指标: | 设备主件: | |
---|---|---|
CCD外接接口 | USB2.0 | 光电自准直仪(带CCD) |
分辨率 | 0.1μm(或1”) | 平行光管 |
回转精度 | 0.1um(气浮转台) | 高精度电动平移台机控制箱 |
测量精度 | 0.5um | 消色差物镜组 |
承座直径 | Φ3~Φ200mm | 高精度气浮转台; |
测量范围(mm) | 冷光源和光纤管 | |
随机物镜组 | F60/F100/F200/F300/X5 | 测试台基座; |
长x宽x高 | 60x40x120cm | |
净 重 | 50Kg | 电脑(及测量软件)等 |
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