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XY轴直线电机运动平台

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  • 公司名称首昂光电(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/8/30 9:41:40
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首昂光电(上海)有限公司十五年深耕激光设备研发,十五年扎根半导体行业应用,造就了首昂光电深厚的技术沉淀以及的行业视角,我们一直致力于把更好的激光与自动化技术带入半导体行业。作为批将激光应用于二极管、三极管及可控硅晶圆划切的者,公司技术团队正积极将激光技术应用到更宽广的半导体领域,助力中国半导体行业走向与自主可控。公司已储备大量基础加工技术,正稳步推进一系列拥有自主知识产权的新工艺、新应用,在多个关键制程设备上达到行业水平,实现国产化替代。
晶圆激光切割机
XY运动平台使用直线电机直接驱动,提供无背隙、高精度、高刚性以及超低速恒速高平稳运动,以满足对速度、加速度、高精度的要求
XY轴直线电机运动平台 产品信息

XY运动平台使用直线电机直接驱动,提供无背隙、高精度、高刚性以及超低速恒速高平稳运动 ,以满足对速度、加速度、高精度的要求。设计有防护装置,光栅尺反馈系统,线性滑轨、限位开关等都能得到有限防护。


多轴及高精度直线平台定制

订制方法:根据客户具体要求订做;

行程范围:X轴10mm---1000mm、Y轴10mm---1000mm;

精度等级:单轴直线电机定位精度1um---10um,重复定位精度0.5um、1um、2um;

标配反馈尺:发格光栅尺、海德汉光栅尺、雷尼绍光栅尺、SONY磁栅尺,另可根据客户要求配置;

标配驱动器:以色列Servotronix、以色列ELMO、另可根据客户要求配置;

驱动控制方式:标准脉冲控制、I/O点控制、CANopen、EtherCAT、RS232;

导轨:标配THK与中国台湾品牌(P级、SP级精度)导轨。

XY运动平台包含驱动器,提供平台万整的解决方案,根据客户现场安装条件、运动要求,我们提供满足高平稳、高精度的现场调试服务。

对于精度级别不高的应用,可以使用标准直线模组直接组装,成本低交货快。


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