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半导体晶圆厚度测量设备

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  • 公司名称武汉华工激光工程有限责任公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地武汉市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/9/21 9:44:15
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我们的愿景参与构建全联接、全感知、全智能世界,成为有影响力的科技企业。华工激光是中国激光工业化应用的、者,激光加工解决方案提供商。我们全面布局激光智能装备、量测与自动化产线、智慧工厂建设,为智能制造提供整体解决方案。我们深刻把握制造业发展趋势,不断丰富产品和解决方案,坚持探索自动化、信息化、智能化与制造业的融合,为各行业提供包括全功率系列的激光切割系统、激光焊接系统、激光打标系列、激光毛化成套设备、激光热处理系统、激光打孔机、激光器及各类配套器件、激光加工专用设备及等离子切割设备,及自动化产线、智慧工厂建设整体方案。华工激光积极投身现代工业浪潮,承担了多项激光领域国家重点项目和重大科技攻关项目,针对市场需求和应用场景,丰富“光制造”内核。我们将激光技术使能与物,促进物与物、人与物高效联接,实现无障碍的信息共享。服务科技创新,我们不断拓宽激光与智造的边界,打通行业壁垒,让激光技术和智造解决方案成为驱动人类生产、赋能社会服务的*工具和理念。激光智造 聚焦一切可能从激光智能装备,到自动化产线、智慧工厂,为满足各领域、多场景客户实际需求,华工激光不断丰富产品和解决方案,延伸智能制造价值链,满足各领域客户实际需求,在3C电子、5G通信、钣金加工、新能源、机械制造、汽车制造、桥梁、轨道运输、医疗、日用消费品、家电、等多领域,持续拓展“激光+智造”服务空间。创新的华工激光工业化发展的动能,源自生产力变革的需求,也离不开前沿研究的。1971年,伴随着一个激光专业班的诞生,华工激光开启了近半个世纪的技术积淀。1971年,一个激光专业班诞生,华工激光开启了近半个世纪的技术积淀。五十年与中国激光发展同频共振,我们深知任何一门学科都需要经过实践的检验,任何一项成熟的技术和解决方案也必须经过市场的检验。在激光装备、自动化、智能制造等多领域,我们始终坚持技术突破、科技创新;从核心单元技术到系统解决方案,华工激光以深厚的技术积淀和前瞻的研究布局助力建设“智造”世界。用户至上的华工激光依靠前瞻性的工艺研究、全系列的产品体系、高效的交付响应和完善的售后体系,我们为您提供专业、及时的服务,充分满足您的生产需求。研发及中试基地:国内6万余平米的研发及中试基地,6大区域技术中心为您提供专业及时的工艺服务。生产基地:国内10万余平方米的智能制造生产基地,24小时*365天满足批量交付需求。大海外研发中心加拿大多伦多超快激光器研发中心,美国硅谷激光应用研发中心,德国汉堡智能制造研究中心,澳大利亚墨尔本高功率激光装备研发中心。全国销售网点:国内40+个办事处,海外30+销售服务中心,为您提供专业贴心的售前服务。走向世界的华工激光我们坚持开放包容、互惠共享的化战略,在国内外拥有完善的市场服务体系,国内设有办事处40余个,在美国、澳大利亚、印度、中国台湾、韩国、巴基斯坦、越南、菲律宾均设有销售和服务机构,在英国、德国、波兰、匈牙利、意大利、阿根廷等国家均配备完善的代理体系,可为客户提供专业、高效的服务。
打标机
面向半导体产业链上游的原材料生产企业,采用独立开发的光谱共焦测量系统,对半导体原片、外延片的尺寸和平面度进行检测。 重复精度 ±0 . 1 μm 检测厚度 ± 1 mm 整机尺寸(mm) 1800*1300*2250
半导体晶圆厚度测量设备 产品信息
产品优势
  • 01
    适用范围广

    用于各种材质各种抛光状态的4—8英寸原片、衬底及外延片


  • 02
    测量精度高

    厚度范围:0—1mm 测量精度:士1μm 重复精度:0.2μm 


  • 03
    测量时间短

    测量时间:30s/pcs(依据客户检测轨迹) 


技术参数
项目主要技术参数
常规参数Wafer尺寸4" , 6"
料盒数量双层,  14 pcs
上下料方式机械手,  Mapping扫描
运动平台X行程150mm,
Y行程150mm,
重复精度 ±0 . 1 μm
重复精度 ±0 . 1 μm
产能4" , 240WPH     6" ,  220WPH
检测性能检测功能晶圆(贴膜晶圆)厚度、TTV、翘曲度
厚度测试精度±0 .5 μm,  重复性:  0 . 1 μm(连续测试25片,  每片测试5点 )
厚度范围± 1 mm
TTV测试精度±0 .5 um,  重复性:  0 .2 μm
翘曲度测试精度± 2 μm,  测试范围:   ± 600μm,  重复性:  1 μm
使用环境供电规格AC220V,50Hz
气源要求0.5-0.7Mpa压缩空气,无明显水汽和油脂
设备重量温度15-40℃。湿度要求30%-70%,无凝霜
整机尺寸1800mm*1300mm*2250mm


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