该系列曝光机采用水冷式超高压卤素灯、LED灯作为曝光灯源，配以高反光率精准灯罩，在有效曝光范围内，光均匀度高达80%以上。配合稳定的大功率安定器，人性化的异常报警系统，全面提升生产效率和品质。
| 型号 | UVE-5000 | UVE-7000 | UVE-9000 |
| 电源 | AC380V 3φ 50Hz 24A 15kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 34kW | AC380V 3φ 50Hz 60A 38kW |
| 气源 | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa | P≥0.6MPa |
| 外形尺寸 | L2100L×W1340W×H1700mm | L2800×W1420W×H1700mm | L2800×W1840W×H1700mm |
| 有效曝光面积 | Max:L610×W740mm | Max:L610×W960mm | Max:L610×W1200mm |
| 最小线宽线距 | 4/4mil | 4/4mil | 4/4mil |
| 作业板厚 | 0.1～3.2mm | 0.1～3.2mm | 0.1～3.2mm |
| 能量均匀性 | ≥80% (在有效尺寸内9点法) | ≥80% (在有效尺寸内9点法) | ≥80% (在有效尺寸内9点法) |
| 能量设定 | 可设定单面或双面曝光 | 可设定单面或双面曝光 | 可设定单面或双面曝光 |
| 灯源系统 | 5kW×2灯（超高压水银灯） | 7kW×2灯(卤素灯） | 9kW×2灯(卤素灯） |
| 冷却系统 | 冷却水塔 :5吨/冰水机:3P | 冷却水塔 :10吨/冰水机:8P | 冷却水塔 :15吨/冰水机:10P |
| 灯管冷却方式 | 灯管直接水冷 | 灯头部分为空气冷却，灯管部分为间接水冷 | 灯头部分为空气冷却，灯管部分为间接水冷 |
| 曝光台面冷却方式 | 强制气冷可作温度控制 | 强制气冷可作温度控制 | 强制气冷可作温度控制 |
| 机体颜色 | 整体烤漆，RAL7035 | ||
| 重量 | 830 kg | 1300 kg | 1500 kg |
