DE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序，配备进口导轨，温控系统，可均匀的扩张晶粒之间的间距。
产品特点:
Ø 扩膜的高度和速度可调整；
Ø 适应MODTF2系列框架；
Ø 工作盘具有加热功能，有助于膜的延伸性；
Ø 调整工作盘上升的高度，即可调整晶粒之间的间距；
Ø 可选配备圆周刀划膜功能；
Ø 装有气弹簧，翻盖省力功能。
型号 | DE100 | DE200 | DE300 | 单位 | 备注 | ||
规 格 参 数 | 适用产品尺寸 | 3~6 | 3~8 | 3~12 | Inch | 可定制特殊品 | |
适应环规格 | MODTF2-6 | MODTF2-8 | MODTF2-12 | 可定制特殊品 | |||
适应膜的种类 | PVC膜、蓝膜 | PVC膜、蓝膜 | PVC膜、蓝膜 | 可定制特殊品 | |||
台盘加热范围 | 室温~80° | 室温~80° | 室温~80° | ° | |||
扩张高度 | 10~70mm | 10~70mm | 10~100mm | mm | |||
动 力 | 电源 | 单相AC 220 | 单相AC 220 | 单相AC 220 | V | 可定制AC100V | |
压缩空气 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | MPa | |||
设备重量 | 90 | 90 | 120 | Kg | |||
