产品系列特性 输入压力 输出压力 | 允许内泄露 | 流量系数 | ||||
15系列高纯度,超高流量 | | | | | ||
·无内螺纹 | 300PSIG | 130PSIG | <1×10-9 | 11300SLPM | 316L不锈钢 | |
15系列 | ·10Ra微英寸抛光 | | (400SCFM) | |||
·弹簧负载:Cv=8 | | 28,300SLPM | ||||
·低于气室负载:Cv=20 | (1000SCFM) | |||||
*单位为大气压·毫升/秒氦气 |
装置压力调节阀(15系列) 产品信息