2023-07-03 09:22:46279
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详细描述本产品采用口径φ150mm考夫曼型离子源，通过结构的双钼栅离子光学系统及SHAG技术保证在φ100mm范围内束流的均匀性为±5%，电子中和系统可使样片上的电荷积累为零
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