高产能机台结构紧凑，占地面积小，布局采用的分体式结构，高速机器人在工艺单元间传递，同时工艺单元中采用共用摆臂结构，使单元结构尺寸大幅减小，单元配置更加灵活；另外机台采用了目前的软件平台调度功能，可以充分发挥机器人的利用率，减少机器人与各工位的等待时间，全新的软件操作界面，使操作员更方便直观的使用，大大提高工作效率，减少失误率。机台产能可达280WPH。 晶片尺寸
2-6寸
技术参数
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速： 6000 rpm
最小调整量： 1rpm
转速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盘(Chuck)
夹持方式： 真空吸附
吸盘真空检测： 数显真空压力传感器
5、 收集杯材质(CUP)： PP，气液分离排放
6、 CUP自动清洗功能： 有
7、 电机漏液防护功能： 有
8、 光刻胶/显影液过滤： 有，0.1um/0.2um可选
9、 热处理单元： 热板HP单元（max.180℃）10个，冷板CP单元2个，根据工艺制程不同可灵活选配
10、光刻胶供应： 采用高精度气动/电动计量泵
11、显影液供应： 采用N2加压
12、滴胶精度： ±0.1ml ；滴胶范围：0.6-3ml
13、工作方式： 自动供胶，自动显影，自动取送片
14、产能： 280WPH
应用行业
广泛服务于半导体、LED、分立器件、功率器件等领域
宁波润华全芯微电子设备有限公司(ALLSEMI)，简称ASI，位于文化底蕴丰厚、风景秀丽、交通便利的宁波余姚市，在北京、武汉和厦门设有*分支机构。
公司汇聚了一批高素质专业人才，致力于民族半导体装备产业的振兴，专注于新型电子器件生产设备的研发、设计、销售及售后服务。全芯公司与中国台湾、韩国多家公司合作，可提供整线设备解决方案和电子科技领域内的技术咨询服务。
公司通过ISO9001质量体系认证，秉承“专业、诚信、创新、共赢”的经营理念广泛服务于化合物半导体、LED、SAW、 OLED、光通讯、MEMS、*封装等新型电子器件制造领域， 配备了快速响应的销售和技术服务团队。
宁波润华全芯微电子设备有限公司将以*可靠的产品，优质的服务赢得客户信赖，成为一家具有国际影响力的半导体装备及工艺解决方案提供商。
显影机
高产能匀胶显影机 产品信息
