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项目 | 规格描述 |
晶圆尺寸 | 4、6、8寸（可选） |
晶圆最小厚度 | 150um |
晶舟类型 | 开放式晶舟(SEMI Stad.25(26)-slot) |
晶舟载台数量 | 1 |
检查模式设置 | 全检 / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择 |
晶舟内晶圆扫描 | 有 |
晶圆预定位 | 有 |
晶圆定位平边及Notch方式 | 非接触式 |
晶圆定位平边及Notch | Notch/平边 |
检查功能 | 微观检查、晶面宏观检查、晶背宏观检查1、晶背宏观检查2 |
金相显微镜控制台 | 有 |
全自动载物台 | 有 |
全自动载物台控制台 | 有 |
全自动载物台功能 | 自动传送、检查模式设置、自动定点、手动定点、自动复归 |
显微镜 | 金相显微镜标准配置及功能 |
机台全尺寸 | 1800*700*1200 W1*D1*H |
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