PHEMOS-1000显微镜 返回列表页

PHEMOS-1000是一款高分辨率发射显微镜，通过检测半导体器件缺陷引起的微弱光发射和散热，确定半导体器件中的故障位置。 由于PHEMOS-1000可与通用探针组合使用，因此您可以使用您熟悉的样品设置来执行各种分析任务。 安装可选的激光扫描系统可以获取高分辨率的图案图像。 不同类型的检测器可用于各种分析技术，例如发射分析，热分析和IR-OBIRCH分析。 PHEMOS-1000支持各种任务和应用，从探针插座板到大尺寸300 mm晶圆探针。

- 可安装两个超高灵敏度摄像头：

用于发射分析和热分析或可见光和近红外光的不同检测波长范围的覆盖范围允许容易地选择与样品和失效模式 匹配的分析技术。

- 最多可安装3个波长的激光器和用于EOP的探头光源

- 适用于各种样品的光学平台

光学平台的工作范围

X +/- 20mm

Y +/- 20mm

Z +/- 75mm

*由于使用探针并干扰样品台或安装NanoLens，工作范围可能比此值窄。