当前位置:上海贝丁汉工业自动化设备有限公司>>德国JENAer公司>>双频激光干涉仪>> 多轴路同步测量激光干涉仪(型号:ZLM800,德国JENAer公司生产,)
产品功能
ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪——真正的双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
±0.1ppm 示值 资料下载
性能优势
技术参数
32 Bit (实时时间)
数据延时< 20 ns
应用案例
ZLM800部分光路图示例
从X、Y和Z方向同时测量位移变化,其中X和Y在一个水平层面上
视频资料(光刻机应用)
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