当前位置：上海贝丁汉工业自动化设备有限公司>>德国JENAer公司>>双频激光干涉仪>> 位移/俯仰角/偏摆角同步测量激光干涉仪（型号ZLM900）
产品功能
在同一光路方向，对被测物体进行位移、偏摆角和俯仰角的同步测量。
系统特点
*光导性激光器，体积小，重量轻。
*干涉镜集成在激光器里，光路调节极其简单。
*反射镜个性化设计，广泛应用于多种场合。
*三轴数据同步精度：20ns。
*所有3轴实时数据测量，无延时。
*使用高精度温度传感器进行数据补偿。
技术参数
| 型号ZLM900 | 参数 |
| 位移测量范围 | 5 m |
| 位移测量分辨率 | 20 pm |
| 位移测量精度 | ±0.1μm/m |
| 角度测量范围 | 使用角锥反射镜：±12.5° 使用平面反射镜：±1.5角分（建议距离小于2m） |
| 角度测量分辨率（位移分辨率为0.1nm时） | 0.002角秒 |
| 激光束间距 | 12 mm |
| 波长 | 632.8nm |
| 稳频精度 | 2x10^-8 |
| 预热时长 | 10-20分钟 |
| 工作温度 | 15-30℃ |
| 激光器含基座尺寸 | 202x137x72 mm |
| 反射镜尺寸 | 45x45x20 mm |
| 数据处理器尺寸 | 450x450x150 mm |
| 激光器含基座重量 | 1.9 kg |
| 反射镜重量 | 80 g |
| 数据处理器重量 | 8 kg |
| 数据接口 | RS232C、USB |
| 激光器与数据处理器之间线缆长度 | 3 m （可选10 m） |
| 工作电源 | 100-240VAC，47-63Hz |
| 激光安全等级 | 2M，II |
系统构成
1.三维激光器及安装底座 一套
2.三维反射镜 一个
3.三轴数据处理器 一套
4.环境补偿器 一套
系统示意图
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