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半自动显影机

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  • 公司名称​陕西爱姆加电子设备有限公司
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/3/11 9:22:45
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爱姆加电子设备有限公司专业从事半导体工艺设备的设计、生产。产品系列有:匀胶机、显影机、半自动匀胶显影机 、全自动匀胶显影机、全自动显影机、半导体喷胶机、槽式(Wet Bench)及单片(Single Wafer)蚀刻_剥离_清洗设备、清洗甩干机、热板烘烤(Hot Plate)、自动涂胶显影机|自动砂轮划片切割等设备;以及开发研制、升级换代、维修服务。公司拥有一批多年从事半导体设备的机械、电气、光学、计算机、以及从事半导体工艺线生产的专业的高中级工程技术人员,拥用CAD计算机网络开发系统-FAB的MES等管理软件,各类检测仪器等*的设计手段. 产品适应不同工艺等级的客户要求,广泛应用于半导体、太阳能、MicroLED、MINILED\MEMS、PUMPING工艺、平板显示及Photo-MASK等产品的清洗、湿法刻蚀、薄膜旋涂、喷涂、显影、传统后道封装工艺。 公司提供二手机台TEL/DNS、MARK-V\VZ、MARK7/8、ACT8等厂商设备的备品、备件及应用材料的CMP设备维修翻业务。
主要组成部分:该设备主要由主轴单元、显影液供给系统(附加恒温装置)、清洗系统、控制系统等组成,采用框架结构,外表为优质不锈钢镜面护板,无发尘量且不吸浮尘颗粒,工作方式为手动上下片,自动完成显影、清洗、(氮气吹干)等工艺。
半自动显影机 产品信息

显影单元参数:   
离心机
额定转速(德国电机): 05000rpm
转速最小调整量:   1rpm
转速精度:   ±1rpm500~300rpm
加速度:   20000rpm/s
加速度最小调整量:  1RPM/S
承片台(chuck)
材料:   防静电PEEK材质(两个)
晶片接触方式 :   真空吸附
吸附真空度检测:    数显压力传感器半自动显影机

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