显影单元参数:
离心机
额定转速(德国电机): 0~5000rpm
转速最小调整量: 1rpm
转速精度: ±1rpm(500~300rpm)
加速度: 20000rpm/s
加速度最小调整量: 1RPM/S
承片台(chuck)
材料: 防静电PEEK材质(两个)与
晶片接触方式 : 真空吸附
吸附真空度检测: 数显压力传感器
爱姆加电子设备有限公司专业从事半导体工艺设备的设计、生产。产品系列有:匀胶机、显影机、半自动匀胶显影机 、全自动匀胶显影机、全自动显影机、半导体喷胶机、槽式(Wet Bench)及单片(Single Wafer)蚀刻_剥离_清洗设备、清洗甩干机、热板烘烤(Hot Plate)、自动涂胶显影机|自动砂轮划片切割等设备;以及开发研制、升级换代、维修服务。公司拥有一批多年从事半导体设备的机械、电气、光学、计算机、以及从事半导体工艺线生产的专业的高中级工程技术人员,拥用CAD计算机网络开发系统-FAB的MES等管理软件,各类检测仪器等*的设计手段. 产品适应不同工艺等级的客户要求,广泛应用于半导体、太阳能、MicroLED、MINILED\MEMS、PUMPING工艺、平板显示及Photo-MASK等产品的清洗、湿法刻蚀、薄膜旋涂、喷涂、显影、传统后道封装工艺。 公司提供二手机台TEL/DNS、MARK-V\VZ、MARK7/8、ACT8等厂商设备的备品、备件及应用材料的CMP设备维修翻业务。
半自动显影机 产品信息