一、设备简介
本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
二、设备特点
1.机身结构优化设计，机架采用龙门式结构，刚性好，承压能力强，能满足高负载下高速稳定运行。
2.下盘、上盘和太阳轮分别由电机单独驱动，电机均采用变频电机且使用变频调速器控制，能在有效设置范围内以任意速度工作，实现平稳的停止、加速、减速及换向，能有效的防止薄脆工件破碎。
3.游星轮传动采用柱销齿结构，传动平稳无冲击，游星轮使用寿命长。柱销齿采用销套结构，销套用不锈钢材料经热处理加硬，防锈耐磨，柱销齿磨损后只需更换销套，方便简单，使用成本低。
4.上盘下降过程中，设置了快降和缓降，缓降行程在气缸行程范围内可调，缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整。
5.本机通过精密电气比例阀调整控制加工压力，可根据不同加工工艺要求，设定加工压力，压力控制精度高。
6.采用*的PLC系统，触摸屏操作面板，所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置，可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程。
7.齿轮及各运动部位采用集中润滑装置，润滑良好，整机使用寿命长。
8.上盘升降设计安全装置，在上盘升到顶时能有效的保护上盘不突然落下。
主要技术参数：
| 序号 | 项目 | 规格参数 |
| 1 | 上研磨盘尺寸 | Ø1188×Ø618×50(mm) |
| 2 | 下研磨盘尺寸 | Ø1188×Ø618×50(mm) |
| 3 | 游星轮参数 | 柱销齿 柱销直径Ø10 节距19.3 齿数52 |
| 4 | 游星轮数量 | 8 |
| 5 | 工件尺寸 | Ø290(mm) |
| 6 | 工件厚度 | 0.3-30(mm) |
| 7 | 下研磨盘转速 | 0-50(rmp) |
| 8 | 加工压力 | 400Kg |
| 9 | 主气缸 | 160×450 |
| 10 | 主电机 | YVP132M-4 9.2Kw |
| 11 | 上盘电机 | YVP132M-4 9.2Kw |
| 12 | 副电机 | YVP90L-4 2.2Kw |
| 13 | 设备总功率 | 22Kw |
| 14 | 外形尺寸 | 1850×1480×2700(mm) |
| 15 | 设备质量 | ≈4200Kg |
安装条件：
| 序号 | 项目 | 指标要求 |
| 1 | 环境 | 室内地面平坦、无振动源 |
| 2 | 水源 | 纯水或自来水 |
| 3 | 电源 | 三相五线380V |
| 4 | 压缩气源 | 0.6～0.8Mpa |
| 5 | 温度 | 0℃-45℃ |
| 6 | 相对湿度 | ≤95% |
| 序号 | 项目 | 指标要求 |
| 1 | 环境 | 室内地面平坦、无振动源 |
| 2 | 水源 | 纯水或自来水 |
| 3 | 电源 | 三相五线380V |
| 4 | 压缩气源 | 0.6～0.8Mpa |
| 5 | 温度 | 0℃-45℃ |
| 6 | 相对湿度 | ≤95% |
| 序号 | 项目 | 品牌 |
| 1 | 气缸 | 亚德客 |
| 2 | 减速器 | 创泓 |
| 3 | 轴承 | 哈、瓦、洛 |
| 4 | 可编程控制器〔PLC〕 | 西门子 |
| 5 | 人机界面 | 昆仑通态 |
| 6 | 精密电气比例阀 | 亚德客 |
| 7 | 电磁阀 | 亚德客 |
| 8 | 变频器 | 博世力士乐 |
