12025-01-01 04:31:1029
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简要描述：电浆辅助式化学气相沉积设备是一种使用电浆的化学气相沉积(CVD)技术，可为沉积反应提供一些能量。与传统的CVD方法相比，PECVD可以在较低的温度下沉积各种薄膜且不会降低薄膜质量。
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