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12英寸匀胶显影机 ACD12 COATER&DEVELOPER

12英寸匀胶显影机 ACD12 COATER&DEVELOPER
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更新时间：2023-08-20 11:41:43浏览次数：536次

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产品简介

详情介绍

设备配置 2C2D、4C、4D
设备产能 110WPH
衬底材质 Si、Glass等
线宽 ≥90nm
适用工艺 i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
应用领域 IC、*封装、MEMS、功率器件、半导体光学、科研等
技术特征 ◼设备占地面积小，产能高，工艺单元灵活选配；
◼热板采用渐进式烘烤，冷盘渐进式冷却；
◼能适应5mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和加工工艺；
◼标配电动泵，标配匀胶显影管路温控功能；
◼可实现两种尺寸兼容；
◼可选配高精度热板、光学对中、WEE等单元部件；
◼可选配interface模块,实现Inline功能。
设备尺寸 2100*2850*2500mm（W*D*H）

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