陕西爱姆加电子设备有限公司
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产品特点： 同一设备实现2"-12"晶圆 涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能 同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行 设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰 可独立增加层流罩，提升小环境洁净度 干湿分离，电液分隔 维护省力、简便
一、spin unit匀胶单元平面图：
二、OVEN UNIT：热板-HOT PLATE、冷板-COOL PLATE、HMDS
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