陕西爱姆加电子设备有限公司
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主要组成部分：该设备主要由主轴单元、显影液供给系统（附加恒温装置）、清洗系统、控制系统等组成，采用框架结构，外表为优质不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，工作方式为手动上下片，自动完成显影、清洗、（氮气吹干）等工艺。
显影单元参数：
离心机
额定转速（德国电机）： 0～5000rpm
转速最小调整量： 1rpm
转速精度： ±1rpm（500~300rpm）
加速度： 20000rpm/s
加速度最小调整量： 1RPM/S
承片台(chuck)
材料： 防静电PEEK材质(两个)与
晶片接触方式 ： 真空吸附
吸附真空度检测： 数显压力传感器
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