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更新时间:2023-03-11 09:22:45浏览次数:321次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:5条
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主要组成部分:该设备主要由主轴单元、显影液供给系统(附加恒温装置)、清洗系统、控制系统等组成,采用框架结构,外表为优质不锈钢镜面护板,无发尘量且不吸浮尘颗粒,工作方式为手动上下片,自动完成显影、清洗、(氮气吹干)等工艺。
显影单元参数: 离心机 额定转速(德国电机): 0~5000rpm 转速最小调整量: 1rpm 转速精度: ±1rpm(500~300rpm) 加速度: 20000rpm/s 加速度最小调整量: 1RPM/S 承片台(chuck) 材料: 防静电PEEK材质(两个)与 晶片接触方式 : 真空吸附 吸附真空度检测: 数显压力传感器
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