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日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030

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日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030
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产品型号PC1000-5030

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更新时间：2023-08-22 08:46:37浏览次数：169次

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安捷来国际股份（香港）有限公司

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日本YAMATO等离子清洗机PC1000-5030

PC1000-5030

  • RIE / DP modeselectable

Specifications

Model PC1000-5030
Plasmamethod RIE • DP
Electrode Parallelflatstageplate
RFgenerator 100~1000W
Oscillationfrequency 13.56MHz
Controlsystem LCDTouchpanelwith PLC
Chambersize (W)600×(D)370×(H)145mm
Stage size (W)500×(D)300mm
Chambermaterial Aluminum
Reactiongas O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
Purge gas N2orDryair
Flow meter Mass flowcontrol2line
Vacuumpump 700L/min
Gas system 2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
Externaldimension (W)900×(D)950×(H)1,530mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A

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