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产品简介

产品介绍：1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护

详细介绍

产品介绍：

1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2）传动方式通过皮带传片（86式），手臂传片（88式）。

3）主轴使用高速伺服电机，带数字显示，精确控制转速。

4）喷淋显影两路液罐，一路氮气。也可由客户工艺配置液路和气路。

转速 6000RPM

转速精准度 ≤1-4%RPM

匀胶滴胶手臂控制步进马达

滴胶头位置精准 ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-6寸晶圆喷淋显影定影工艺，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为双轨道形式。

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