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88式手臂传片匀胶机

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产品简介

产品介绍：1、控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护

详细介绍

产品介绍：

1、控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2、传片方式通过手臂传动。

3、主轴使用高速伺服电机，带数字显示，精确控制转速。

4、自主设计开发薄膜式的喷胶泵，出胶稳定，自带回吸，保证了定量滴胶，可节省光刻胶用量。

5、设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动滴胶转换为手动滴胶。

6、热板控温精确，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便硅片烘烤。

转速 6000RPM

转速精准度 ≤1-4%RPM

匀胶滴胶手臂控制步进马达

滴胶头位置精准 ≤0.2mm

该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为单轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。

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