- 产品详细介绍
- 详细参数
平行曝光灯源（5KW/8KW可选）
用于高解析度，小面积曝光应用，如LCD触摸屏生产，解析度可达10UM
曝光光源：5KW/短弧Hg/Xenon 365nm
曝光强度：≥30mw/cm2
平行半角：<2°
倾斜角：<1.5°
曝光均匀度：>92%
曝光区域：360*410/400*500/450*550/550*650/620*750(根据客户需求定制)
解析度（线宽/线距）：10um(0.5mil)
产品特点：
1、设备结构紧凑，外观可按客户要求设计.
2、机内备有UPS（不间断电源）装置，有效预防停电对光学器件产生的危害.
3、曝光方式有时间能量曝光两种方式，快门设计成双遮光器结构，的提高曝光时能量的均匀性。
4、设备采用人机界面和可编程控制器控制，操作简单方便，性能非常稳定.
