1．技术参数
1）光面积：4英寸
2）曝光波长：365nm
3）分辨力：1.2um（胶厚2 um的正胶）
4）对准精度：±0.8um
5）掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
7）样片尺寸：直径f15mm-- f100mm(各种不规则片) 厚度0.1mm--6mm
8）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
9）照明不均匀性： 3%（ f100mm 范围）
10）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：4倍、10倍、20倍
11）掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º
12）焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）
13）光源平行性：3.5 º
14）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º
15）汞灯功率：350W（直流，进口）
2．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）
3．配置
3.1. 曝光头
1）冷光椭球镜
2）350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
3）XYZ汞灯调节台
4）冷却风扇
5）光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
3.2. 对准工件台
1）掩模样片整体运动台
2）掩模样片相对运动台
3）转动台
4）样片调平机构, 手动
5）样片调焦机构，手动
6）承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）
7）掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
8）基片抽拉式上下机构
3.3. 对准显微镜
1）光源（配备品2只）、 电源
2）双目双视场对准显微镜主体
3）目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
4）CCD及21英寸液晶显示器
5）物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
3.4. 电控系统
1）汞灯触发电源(350W直流汞灯)
2）单片机控制系统
3）控制箱
3.5. 气动系统
1）气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
2）电磁阀驱动
3）气动仪表
3.6. 其他附件
1）真空泵一台
2）空压机一台
3）管道
3.7. 技术资料
1）使用维修说明书
2）显微镜使用说明书
