主要技术参数：
（1）曝光面积：100mm×100mm；
（2）照明不均匀性： £3%（ f100mm范围）；
（3）分辨力：1.0um（胶厚2.0um的正胶，365nm波长）
（4）对准精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
（6）样片尺寸：直径f15mm-- f100mm、厚度0.1mm--6mm；
（7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°；
（8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外LED（进口）；
（10）曝光波长：365nm；
（11）曝光强度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s任意设定).
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
（1）曝光头系统包括:
◆ 进口紫外LED光源模块；
◆ LED光源整形模块；
◆ XYZ光源位置调节台；
◆ 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79个透镜）、场镜组、反射镜组）；
◆ 冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括：
◆ 掩模样片相对运动台（XY）；
◆ 转动台；
◆ 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；
◆ 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；
◆ 承片台4个（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸各1个）；
◆ 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸各1个）。
（3）CCD对准显微镜系统包括：
◆ 对准光源LED灯；
◆ 双目双视场对准显微镜主体；
◆ 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）；
◆ 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）；
◆ CCD部件；
◆ 22英寸宽屏液晶显示器。
（4）电控系统包括：
◆ 单片机控制系统；
◆ 紫外LED电源模块；
◆ 控制柜桌。
（5）气动系统包括：
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6)．辅助设备配置:
◆ 真空泵1台（干泵）；
◆ 空气压缩机1台；
◆ 配套接管10m；
(7)．备品备件
◆ 对准光源灯4只（LED-1W，不包括机器自带的两只）；
