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Cchip-0019高深宽比紫外光刻机

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  • 公司名称苏州中芯启恒科学仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地苏州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/3 13:49:49
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苏州中芯启恒科学仪器有限公司设立在环境优美的苏州新加坡工业园区内。公司主要从事芯片微结构加工,微流控芯片研发、制作与销售服务;提供芯片实验室组建整体解决方案(涉及不同材质、不同精度微流控芯片实验室组建仪器设备和耗材的配置);微流体控制解决方案;中芯启恒以技术服务为主体,解决客户微流控问题的科技服务类公司。公司主要以在中国的企业研发部门、高等院校、中科院单位等以研发为主的机构作为主要客户群,希望通过我们专业的服务和不懈的努力将公司打造成为科学仪器行业内的产品服务供货商。我们坚信只要以市场为导向,以质量求生产,以服务为动力,以发展求壮大,我们就会赢得更美好的一天!
曝光机
微流控芯片的设计结构一般深宽比较大,针对微流控芯片这一特点,中芯启恒自主研发生产了Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前的LED光源,紫外波长365nm,光源纯度高,辐射能量均一可调...
Cchip-0019高深宽比紫外光刻机 产品信息

1. 产品简介:

微流控芯片的设计结构一般深宽比较大,针对微流控芯片这一特点,中芯启恒自主研发生产Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前*的LED光源,紫外波长365nm光源纯度高,辐射能量均一可调设备配有智能化触摸屏操作面板外观比较传统光刻机体积更小,集成化度高,不仅简化操作流程,还进一步提高工艺效率。

不仅如此,我们对曝光系统进行优化,将曝光过程中衍射误差降到极限保证图案设计值与实际值一致,从而为芯片制作保驾护航。

以下是客户实测图片,结构高度92um,间距20um,请参考!

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