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GJTJ-2B机械式二维工件台

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  • 公司名称中国.鑫有研电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/7/4 8:49:08
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鑫有研电子科技有限公司(企业简称:中国鑫有研,SIYOUYEN)系一家从事半导体集成电路工艺设备技术研发、设计、制造、销售、服务于一体的综合性企业。鑫有研:概念源自于21世纪初期美国,意为科技在社会技术方面应用的体现,拥有“生活,科技”之桂冠美誉。鑫有研将科技领域的成功、社会责任和环境保护相结合。通过科技与创新,帮助微电子企业及高校实验室等机构客户满足当前及未来的需求。公司严格贯彻与规范实施ISO9001质量管理标准体系和ISO14001环境管理体系标准;鑫有研拥有一批技术*、服务优良的高素质人才,和完善的售后服务体系。产品以其的品质进入国际市场,为国家重点工程配套、环保工业、科研、信息产业等做出了较大贡献,获得了广大用户的信赖与好评,鑫有研热诚欢迎广大客户、企业朋友等携手共同进步!1、微电子工艺设备方面鑫有研在半导体、太阳能、FPD领域湿制程设备的设计、研发、生产及销售;同时代理半导体、太阳能、FPD领域及其它国外设备,负责在中国市场的开发、推广、服务!2、真空技术应用方面鑫有研在真空行业领域,通过引近韩国、德国*的真空技术与合作,开发出了旋片真空泵,无油真空泵,防爆真空泵等。同时与韩国WONCHANG,韩国DOOVAC,韩国NARA,韩国G&M,韩国KMC,意大利DVP,等形成战略联盟,致力于真空技术的推广与销售!3、生物技术研发方面鑫有研在生物技术方面与国家各个重点科研领域机构合作(质检,光学,教育,航天,海洋,石油,制药,检测等)共同致力于节能减排低碳环保产业,涉及节能环保化工、设备、研发和新技术推广等工作!鑫有研企业先后荣获:“中国质量500强”“中国品牌500强”“中国”等荣誉!
GJTJ-2B机械式二维工件台1.技术参数lX向行程:5mm到50mm可定制lY向行程:5mm到50mm可定制l重复定位精度:±40nm(±3σ)l分辨力:8nml直线性:3″l正交性
GJTJ-2B机械式二维工件台 产品信息

GJTJ-2B机械式二维工件台

1.技术参数

l X向行程: 5mm到50mm可定制

l Y向行程: 5mm到50mm可定制

l 重复定位精度:±40nm(±3σ)

l 分辨力:8nm

l 直线性:3″

l 正交性;3″

2.配置

(1)机械系统

l 电机2个:日本乐孜步进电机(伺服电机可选)

l 丝杠2根:日本THK公司产品

l 导轨1个:自制精密方导轨

l 光栅2根:美国Micro-E产品(分辨力50nm,带零位光栅)

l 多自由度光栅读数头调整座2个

l 轴承4个(零级)

l 轴承座2个

l 电机座2个

l 工作台面:航空超硬铝(7050)

l XY向基座:航空超硬铝(7050)

l 联轴器2个:日本NBK公司产品

l 限位开关4个

l 球头带动结构2套

l 调整手轮2个

(2)电控系统

l 多轴运动控制板

l 通用RS-232通讯接口

l 高细分、低振动步进电机驱动器

l 模块化开关电源适配器

l 高精度零位测控系统

l 高精度光栅计数测量系统

l 高可靠软硬件限位保护系统

l 抗干扰、高可靠复位电路系统

l 便携式手提控制箱

l 采用屏蔽双绞线缆,有效抑制静电感应及电磁感应干扰。

(3)软件系统

l 人性化计算机控制界面程序(提供安装光盘,可定制)

l 高精度位置伺服复合控制程序


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