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· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 经济型等离子清洗机,小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
型号
ZEPTO
ZEPTO PCCE
控制系统
手动控制
PCCE 控制系统
工艺气路
双路气体
工艺气体
O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等
单体导入
H2O等单体(选配)
流量计
针阀流量计
MFC流量计
真空
腔体
材质
高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配)
内尺寸(Dia.×D)
105mm×300mm
容积
2.6L
电极
360度外置环绕电极
发生器
40KHz 0~100 W/13.56MHz 0~50 W,0~300 W
真空压力计
指针式压力计(选购)
皮拉尼数字式压力计
计时器
旋钮式(选购)
数字式
托盘
高硼硅玻璃(石英选配)
外形尺寸(WXDxH)mm
425x450x185
电源
AC220V 50Hz 10A
真空泵
排气速度4m3/H
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