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● 操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。 ● 软性基板也可以进行传送操作。 ● 传送速度可在Hi-Low间调节。 ● 可通过网络进行远程操作(选购品)。
型号
YSP63FA
模式
RIE(DP模式选购)
高频输功率
600W
反应台尺寸
W385×D362mm
内腔尺寸
W395×D378×H45mm(内尺寸)
反应气体
2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制
质量流量控制器
真空泵
旋转式真空泵(约500L/min)
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
外形尺寸
W1860×D1100×H1800mm
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