技术应用链接:
特点：
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 4” Wafer去胶清洗
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
技术规格：
| 型号 | PICO | PICO PCCE | ||
| 控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 | ||
| 工艺气路 | 双路或三路气体 | |||
| 工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体 | |||
| 单体导入 | H2O，亲疏水涂层等单体（选配） | |||
| 流量计 | 针阀流量计（防腐蚀） | MFC流量计（防腐蚀） | ||
| 真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃/石英 盖子门/铰链门带观察窗 | 不锈钢 盖子门/铰链门带观察窗 | 铝合金 铰链门 |
| 圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm | 150×320(600) *1 | 130×300( 600) *1 | — | |
| 方形腔体内尺寸 （W×D×H）mm | — | 160×325( 600) *1×160mm | 150×325（600）*1×160 | |
| 容积 | 5.6L~10.6L | 8L~15L | 7.8L~14L | |
| 电极 | 360度外置环绕电极 | 平行平板电极 | ||
| 发生器*
| 40 kHz 0-200W 100 kHz 0-500W 13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W 2.45 GHz 0-300W | |||
| 真空压力计 | 指针式压力计 | 皮拉尼数字式压力计 | ||
| 计时器 | 模拟数字式 | 数字式 | ||
| 托盘 | 高硼硅玻璃，石英，不锈钢，铝合金 | |||
| 外形尺寸（WXDxH）mm | 560x600-750x460-860mm | |||
| 电源 | AC220V 50Hz 10A | |||
| 真空泵 | 排气速度不小于8m3/H | |||
