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SiC晶圆激光快速退火系统

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  • 公司名称成都莱普科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地成都市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/7/31 9:18:06
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莱普科技成立于2003年,由广东东骏集团出资组建。经过十余年的发展,已成长为国内的激光专用加工设备研发、制造、销售和服务的企业。公司具备深厚的技术研发和系统集成能力,承担了多项部委、省市级重点技术创新项目,拥有五十多项及软件著作权等自主核心知识产权,现已成为国内主要的行业应用激光设备供应商之一。 莱普科技致力于激光技术在专业细分市场的应用,始终坚持以满足客户需求为己任,以技术创新为手段,以快速周到的服务赢得市场。多年来,在半导体晶圆制造、封装测试、封装、电子精密制造以及电子领域,推出了四大类三十余种激光专用装备,为中国激光工业应用的推广、产业升级换代和专用装备国产化做出贡献。 莱普科技秉承”顾客为本,追求”的企业理念,在深圳、无锡、西安、长春等地设有常驻服务机构,竭诚为广大客户提供全面、高效的技术支持和售后服务。
半导体激光切割机
采用激光对重掺杂 SiC 表面沉积一种或几种过渡金属进行合金化,精确控制激光能量和分布,形成良好的欧姆接触。采用激光方式可忽略衬底正面结构的影响,更好的与减薄工艺兼容,简化工艺流程,提高器件性能。
SiC晶圆激光快速退火系统 产品信息
产品特点
  • · 支持薄片退火 · 优秀的退火表面形貌和电学特征

  • · 10-5Ωcm²量级的比接触电阻率

  • · 高效率、低成本控制

  • · I F 值提高 30% 以上 · 完整的全程监控反馈功能


应用产品类型

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技术指标

项目LA2540S LA2550S
晶圆尺寸4/6 Inch 兼容
典型扫描时间180 sec/p @4 inch90 sec/p @4 inch
激光能量密度≥ 5J/cm²
激光输出稳定性≤ 2%,RMS,4hrs
比电阻接触率

≤ 10 -5Ωcm²

自动传片系统双 LoadPort、多关节机器手、预准直器

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