用于以 FIB 为中心的纳米加工的 FIB-SEM
VELION 是一种用于纳米科学与工程的新型 FIB-SEM 仪器概念。FIB 纳米加工已成为制造三维和高分辨率纳米结构（例如等离子体装置、纳米流体、局部注入和功能化）的标准技术。VELION 满足纳米加工的严苛要求。该概念包括一个可配置平台，其功能包括
专用 nanoFIB 离子柱
用于多物种离子束技术的液态金属合金源
激光干涉仪平台
定制的 FE-SEM 色谱柱
各种选项/系统配置，包括气体注射和纳米操纵器
VELION 具有垂直安装的FIB 柱和侧面安装的 SEM。结合Raith 的激光干涉仪平台和成熟的光刻技术，VELION 的 FIB-SEM 纳米加工装置。以FIB 为中心的专用系统架构可确保稳定性、准确性和自动化。即使是最复杂的 2D 和 3D 结构也可以在无人值守的情况下在大面积和长时间内按照精度标准制造。
此外，IONselect 技术提供一系列离子种类可供选择。这一功能将为下一代研究的新突破铺平道路。根据特定应用调整离子特性可增强 FIB 处理。在此处了解有关 nanoFIB 色谱柱的更多信息。
要获得有关 nanoFIB 色谱柱或 IONselect 技术的更深入信息，您还可以下载相应的资料。
具有 3D 重建功能的高分辨率离子显微镜
用于创新纳米加工的现代 FIB 柱设计还为高分辨率 FIB 成像提供的设置。专有的多物种离子源技术可以使用从同一源发出的镓、铋和锂离子，并使用后续的维恩过滤器来限度地减少切换时间。作为 LMAIS 可用的最轻离子，锂可实现横向分辨率的离子图像，而重 Ga 离子和 Bi 离子或 Bi 簇可用于精确的垂直铣削。将这些功能与激光干涉仪平台的精度结合在一个工具中，VELION 成为一款强大的3D 成像离子显微镜。
