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安捷来国际股份（香港）有限公司


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日本YAMATO等离子清洗机V1500X

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日本YAMATO等离子清洗机V1500X
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产品型号V1500X

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更新时间：2023-08-20 07:53:16浏览次数：158次

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安捷来国际股份（香港）有限公司

经营模式：其他

商铺产品：22条

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产品简介

详细介绍

日本YAMATO等离子清洗机V1500X：

V1500X
  • RIE / DP mode selectable
  • Aluminum chamber
  • For Magazine CSP/BGA
  • LCD Touch panel operation
  • Easy to set upparameterandoperation
  • Built in safetyfunctionwithEmergency stop switch

Specifications

Model V1500X
Plasmamethod RIE•DPmode
Electrode Parallelflatstageplate
Electrodematerial SUS-304
Chambertemperature Digitaldisplay
RFgenerator 100~1500W
Oscillation 13.56MHz
Controlsystem LCDTouchpanelwith PLC
Tuningmethod AutomaticandManual
Timer 1sec-9H59min59sec
Chambersize (W)600×(D)550×(H)600mm
Stage size (W)460×(D)400mm
Chambermaterial Aluminum
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2orDryair
Flow meter Mass flowcontrol2line
Vacuumpump 1,400L/min
Emergencystopswitch Pushtypeswitch
Gas port 2 pc(1/4"SUSswage- lock)
Purge port 1pc(1/4"SUSswage- lock)
Vacuumport 1pc(SUSNW40)
Externaldimension (W)900×(D)1,000×(H)1,700mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A
Weight Approx.300kg

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