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半自动晶圆减薄贴膜机 产品型号:TW36V / TW36TV 应用于晶圆减薄等工艺
半自动晶圆减薄贴膜机 产品型号:TW36V / TW36TV 应用于晶圆减薄等工艺
• 4" ~ 8" /8" ~ 12"晶圆适用 | • 蓝膜、UV膜适用< |
• 可处理厚度300um以上晶圆 | • 基于PLC的程序控制 |
• 的真空无滚轮贴膜技术 | • 自动胶膜传覆 |
• 手动晶圆装卸料 | • 蓝膜、UV膜适用 |
• 同步贴膜撕膜 | • 工控机+Windows系统 |
• 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 |
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