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全自动晶圆检查机、分选机、倒片机 产品型号:WTS220 (应用于晶圆检查、分选、倒片、读码、打标等工艺)
全自动晶圆检查机、分选机、倒片机 产品型号:WTS220 (应用于晶圆检查、分选、倒片、读码、打标等工艺)
• 4"~8"晶圆适用 | • 可选配CCD检查功能 |
• 可处理薄晶圆 | • 可选配显微镜检查功能 |
• 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 | • 工控机+Windows系统 |
• 智能测绘料篮内晶圆 | • SECS/GEM或简易联网能力 |
• 多种晶圆搬运技术可选 | • 超小占地面积设计 |
• 晶圆分选、倒片功能 |
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