全自动光罩对准曝光机
适合工业界24小时量产使用
產品簡介:
全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出, 自动对位曝光,可一天24小时操作,减少人力需求,提高可靠性,增加产量, 本公司开发之高产量全自动曝光机, 对位制程每小时可产出250片以, 无对位制程每小时可产出350片以上, 产量为业界,两倍于其他厂牌机型。
本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已自行开发完成,并已出货国内外众多客户。
全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出, 自动对位曝光,可一天24小时操作,减少人力需求,提高可靠性,增加产量, 本公司开发之高产量全自动曝光机, 对位制程每小时可产出250片以, 无对位制程每小时可产出350片以上, 产量为业界,两倍于其他厂牌机型。
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