产品|企业|供应|求购|资讯|展会|技术
返回产品中心
联系方式:+886-3-3776065
联系我们时请说明是 包装印刷网 上看到的信息,谢谢!
本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已自行开发完成,并已出货国内外众多客户。
全手动操作,每一个动作可单独操作,适合实验室研究使用或量产前制程开发使用。
紫外光源机型有功率 : 350W,500W,1000W,2000W 。
曝光光源尺寸 : 4″,6″,8″,10″,12″,圆或方, 波长: NUV(含365nm, 405nm,435nm) 。
光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口径) 均匀度: +-3~5%,
高压汞灯泡及电源供应器。
采用可变倍率镜头方便对准操作,标准总倍率50X-300X, CCD摄影机影像系统,
19吋 LCD萤幕 打光有LED同轴光或环形光, 观测的两点间距4cm-20cm,
可加装转折镜到更小间距, 可加装镜头扫描台以快速移动镜头, 可选配背面对准影像系统。
光罩真空吸盘 : 上吸式或下吸式 4″,5″, 6″, 7″, 9″ 。
晶圆真空吸盘 : 2″, 4″, 5″, 6″,8″, 圆或方, 具光罩晶圆水平校正功能。
曝光模式有真空接触式与近接式,可调整真空吸附力大小 X,Y轴调整10mm,调整灵敏度1um, Z轴可调整5mm,
千分表解析度1um, 上光罩以手开启以取放基板。
全手动操作系统,每一动作均需手动操作。
操作流程 : 置基板,手动关下光罩吸盘,镜头移入做对准动作,chuck上移至曝光位置,镜头移出灯源移入曝光(计时), 灯源移出,光罩吸盘开启,取出基板, 曝光计时器时间设定:0.1-999秒。
具四个防震气垫,具调整脚及移动轮, 不锈钢支架及盘面,铝合金桌面及肋板,CDA之调整真空之显示,电源输出入等。
采真空接触曝光图形解析可达1um以内(正光阻厚1um), 采近接式曝光依晶圆与光罩间距设定约在3~5um。
包装印刷产业网 - 包装印刷行业专业网络宣传媒体
Copyright ppzhan.com All Rights Reserved法律顾问:浙江天册律师事务所 贾熙明律师
客服热线:0571-87759927 投诉热线:0571-88947171 网站客服:QQ:742043732
在线客服
市场一组
会员登录新用户注册 >
请输入账号
请输入密码
请输验证码
*您想获取产品的资料:
个人信息:
联系方式
德扬光电有限公司
如需紧急咨询,欢迎您的来电